龙门单臂自动超声波清洗机，蓝宝石基片清洗机
清洗工艺:
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序 号 |
工序方法 |
清洗方式 |
清洗时间 |
清洗液 |
加热功率 |
过滤 |
进水 |
排水 |
缸盖 |
抛动 |
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1 |
进料 |
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2 |
超声波清洗 |
120KHZ / 2KW |
5~10min |
清洗剂 |
6KW |
有 |
自动 |
手动 |
/ |
有 |
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3 |
喷淋漂洗 |
喷淋 |
5~10min |
纯水 |
6KW |
有 |
自动 |
手动 |
有 |
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4 |
浸泡出料 |
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3.1进料→超声波漂洗(120Khz)→喷淋漂洗→浸泡出料
3.2 清洗目的：去除工件加工过程中残留的油污及粉屑
3.3清洗介质：水+脱脂剂
3.4清洗对象：晶圆
3.5 清洗能力：5-10min可清洗450片晶圆，即18只花篮。
用户已将晶园摆放在花篮内，花篮规格为：70×125×70mm,每个花篮装载25片晶圆。
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