一、  

二、   设备用途：本设备用于蓝宝石材料清洗工艺。

三、   设备处理量

3.1以专用提篮为片盒载具入槽进行处理，每槽同时处理一个专用提篮，提篮规格为420×330×350mm, ：采用6mm不锈钢元棒焊接制作；

3.2 篮装载量为：一次性可装 2 寸花篮 4 个,4 寸花篮 2 个,6 寸花篮 1 个

3.3 专用提篮入槽、出槽及工位间（上料位、四个工艺槽体、下料位）传递均由人工完成。

3.4 专用提篮数量：4个；晶片承载器由用户另行购买；

3.5 生产节拍：5-10min/篮

四、设备总体描述

4.1 设备结构外形

4.1.1 设备结构外形如图一所示，整机主要由机架、槽体、电控单元、水路系统及气路系统等组成。         

4.1.2设备机架、槽体采用不锈钢结构，外封板全部选用10mm白色PP板制作，底架及支架不锈钢方通焊接组装。

4.1.3 整机管路系统设置在设备后下方。

4.1.4 设备前、后下方均设有维护门。

4.1.5设备底部配有防腐脚轮和支撑地脚。

4.2 设备安全设置

4.2.1具有漏电断路保护装置。

4.2.2具有过载及过温保护功能